分析净化车间使用的关键因素(二)
四、气体CPU。
新空气系统解决空调机组问题[Make-upAHUs]。典型的家用新风系统解决了制冷机组(中、低级机组)的难题,即给呼吸系统制冷机组(二级制冷机组)带来须的家用新风系统。一种新风系统包括:抽滤排烟风机、加热器或plug离心风机过滤装置,用于加热和加热的沸水风机盘管,用于制冷和除湿的冷水机盘管、蒸汽及隔热空气加湿器等。附件及差分包括:静电感应气体开关阀、蒸汽加热风扇盘管、超音波空气加湿器、食盐水、用于去湿的立即交换[Dx]或乙二醇超低温冷藏风机盘管、VOC吸附过滤装置、噪声衰减器、VFP(直流变频)驱动器等。
有几种循环系统风空调机组按排风管,再经过ULPA过滤装置或HEPA过滤装置,送气进入洁净室,进入洁净室,等级为10级和1级的洁净间装饰吊顶,过滤装置一般百分100覆盖。垂直单边气旋根据清洁间向下,越过带孔洞的防静电地板砖进入木地板下边送风室内空间,再根据垂直送风夹道往上到装修吊顶送风。接着,气体再次进入循环系统风冷机组,再一次在上面循环气体循环。如使用装饰用的吊顶离心风机过滤装置,在离心风机过滤装置上方的装饰吊顶室内空间可以装水或立即互换制冷[DX-cooled]风盘完成表层制冷。
五、气压差。
清洁室的增加是很重要的,它的作用是保证洁净室在其附近地区消除环境污染,控制对空气污染物的流入,避免不同区域之间的交叉污染,并协助维持设定的温度和环境湿度水平。
许多微电子技术和光刻技术的洁净室成功选用在被动标准气压操纵中,只有大门口全部打开的情况下,入口空气流量保持在50-100英尺每分钟。某些生物药品公司规定了正压差操纵,可选择填充新风系统的方法,全自动补气(门打开时)。
六、温度控制。
气温与环境湿度的变化会使生产线设备产生偏差,从而损害加工精度,终导致良品率降低,提升消耗。因此,洁净室的温度严格控制是不言自明的,这一费用是须要花的。